第1章 集成电路工艺基础 1
1.1 集成电路工艺概述 1
1.1.1 半导体基础 1
1.1.2 集成电路工艺类型 3
1.2 CMOS集成电路的制造流程及工艺 3
1.2.1 CMOS集成电路的制造流程 4
1.2.2 CMOS集成电路的工艺 5
1.3 无源器件的制造 8
1.3.1 电阻的制造 8
1.3.2 电容的制造 9
1.3.3 电感的制造 11
1.4 有源器件的制造 12
1.4.1 三极管的制造 12
1.4.2 MOS场效应晶体管的制造 13
1.4.3 二极管的制造 17
小结 18
练习题 19
第2章 模拟集成电路版图介绍 21
2.1 版图概述 21
2.1.1 版图简介 21
2.1.2 模拟集成电路版图与电路的关系 21
2.1.3 模拟集成电路版图与工艺的关系 23
2.2 无源器件的版图设计 23
2.2.1 电阻的版图设计 23
2.2.2 电容的版图设计 25
2.2.3 电感的版图设计 26
2.3 有源器件的版图设计 26
2.3.1 三极管的版图设计 26
2.3.2 场效应晶体管的版图设计 28
2.3.3 二极管的版图设计 29
2.4 互连设计 30
2.4.1 金属 30
2.4.2 通孔 30
小结 31
练习题 31
第3章 模拟集成电路版图设计基础 32
3.1 模拟集成电路版图的设计流程 32
3.2 PDK 33
3.3 版图设计规则 36
3.4 DRC文件和LVS文件 40
3.4.1 DRC文件 40
3.4.2 LVS文件 42
3.5 版图设计的注意事项 45
3.6 DRC验证和LVS验证 46
3.6.1 DRC验证 46
3.6.2 LVS验证 48
3.7 GDSⅡ文件的提取流程 52
小结 56
练习题 56
第4章 模拟集成电路版图的匹配和抗干扰
设计 59
4.1 匹配设计基础 59
4.1.1 共质心匹配原理 59
4.1.2 版图失配及其原因 59
4.2 无源器件的匹配设计 60
4.2.1 电阻的匹配设计 60
4.2.2 电容的匹配设计 61
4.3 有源器件的匹配设计 62
4.3.1 三极管的匹配设计 62
4.3.2 场效应晶体管的匹配设计 64
4.3.3 二极管的匹配设计 66
4.4 寄生效应 67
4.4.1 常见寄生器件 67
4.4.2 减小寄生效应 69
4.5* 天线效应 69
4.5.1 天线效应的原理 69
4.5.2 天线效应的版图处理技巧 70
4.6* 闩锁效应 71
4.6.1 闩锁效应的原理 71
4.6.2 闩锁效应的版图处理技巧 71
4.7* 噪声与抗干扰 73
4.7.1 减小噪声的方法 73
4.7.2 差分电路与噪声 73
4.8 布局规划 73
4.9* ESD防护 74
小结 77
练习题 77
第5章 版图设计工具Virtuoso 79
5.1 版图设计工具Virtuoso的基本操作 79
5.1.1 启动Layout XL工具 79
5.1.2 了解版图绘制窗口的菜单 80
5.1.3 display.drf文件设置 88
5.1.4 快捷键设置 88
5.2 设计示例 90
小结 96
练习题 96
第6章 模拟集成电路版图设计实践 97
6.1 CMOS两级差分运算放大器的版图设计 97
6.1.1 电路分析 97
6.1.2 版图设计 98
6.1.3 版图验证 100
6.1.4 寄生参数提取 106
6.1.5 实训 117
6.2 带隙基准电路的版图设计 117
6.2.1 电路分析 118
6.2.2 版图设计 120
6.2.3 版图验证 126
6.2.4 寄生参数提取 131
6.2.5 实训 134
6.3 低压差线性稳压器的版图设计 134
6.3.1 电路分析 134
6.3.2 版图设计 134
6.3.3 版图验证 137
6.3.4 寄生参数提取 142
6.3.5 实训 145
6.4 比较器的版图设计 145
6.4.1 电路分析 145
6.4.2 版图设计 147
6.4.3 版图验证 148
6.4.4 寄生参数提取 153
6.4.5 实训 156
6.5 环形振荡器的版图设计 156
6.5.1 电路分析 156
6.5.2 版图设计 158
6.5.3 版图验证 161
6.5.4 寄生参数提取 164
6.5.5 实训 167
6.6* 逐次逼近寄存器型模数转换器的版图设计 167
6.6.1 电路分析 168
6.6.2 版图设计 168
6.6.3 版图验证 173
6.6.4 寄生参数提取 177
6.6.5 实训 180
6.7* ESD保护电路的版图设计 180
6.7.1 版图设计 181
6.7.2 版图验证 185
6.7.3 实训 188
6.8* 锁相环电路的版图设计 188
6.8.1 电路分析 188
6.8.2 版图设计 189
6.8.3 版图验证 198
6.8.4 寄生参数提取 202
6.8.5 实训 206